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原標題:PVD鍍膜材料:新材料隱形冠軍

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靶材是通過磁控濺射、電子束蒸發或其他類型的鍍膜系統(設備)在適當的工藝條件下,濺射在基板上形成各種功能薄膜的濺射源。
一般靶材主要由靶坯、背板等部分構成,其中,靶坯是高速離子束流轟擊的目標材料,屬于濺射靶材的核心部分,在濺射鍍膜過程中,靶坯被離子撞擊后,其表面原子被濺射飛散出來并沉積于基板上制成電子薄膜。
靶材產業鏈主要包括金屬提純、靶材制造、濺射鍍膜和終端應用等環節,靶材制造和濺射鍍膜環節是整個濺射靶材產業鏈中的關鍵環節。
其中,濺射鍍膜的品質對下游產品的質量具有重要影響。在濺射鍍膜過程中,濺射靶材需要安裝在機臺中完成濺射反應。PVD鍍膜材料
目前,薄膜材料的制備技術主要包括物理氣相沉積(PVD)技術和化學氣相沉積(CVD)技術。
其中PVD技術為主流鍍膜方法,具體是指在真空條件下采用物理方法,將某種物質表面氣化成氣態原子、分子或部分電離成離子,并通過低壓氣體過程,在基板材料表面沉積具有某種特殊功能的薄膜材料,根據操作技術可分為濺射鍍膜和真空蒸發鍍膜兩種方法。
PVD鍍膜材料用以制備各種具有特定功能的薄膜材料。主要的下游應用領域包括平板顯示器、半導體功能器件、太陽能電池、光學元器件等。綠化布
濺射機臺專用性強、精密度高,市場長期被美國、日本跨國集團壟斷,主要設備提供商包括AMAT(美國)、ULVAC(日本)、ANELVA(日本)、Varian(美國)等行業內知名企業。
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國內高純濺射靶材生產企業已經逐漸突破關鍵技術門檻,擁有了部分產品的規模化生產能力,形成了以江豐電子、阿石創、有研億金、隆華節能等為代表的專業從事高純濺射靶材的生產商。
江豐電子主要產品為各種高純濺射靶材,包括鋁靶、鈦靶、鉭靶、鎢鈦靶等,主要用于制備電子薄膜材料。目前,江豐電子產品主要應用于半導體、太陽能電池及平板顯示器等。
阿石創從事各種PVD鍍膜材料研發、生產和銷售,主導產品為濺射靶材和蒸鍍材料兩個系列。
有研億金主要產品包括高純金屬靶材、蒸鍍材料、口腔正畸器材、醫療用介入支架和貴金屬合金、化合物等,其靶材產品主要包括鋁及其合金靶材、鈦靶、銅靶、鉭靶等。
隆華節能收購的四豐電子主要從事高純金屬及合金材料業務,產品以鉬靶材為主。公司收購的晶聯光電主要從事氧化銦錫(ITO)靶材的研發、生產和銷
這些企業研發實力雄厚、管理體制健全、上升前景廣闊,將有望打破濺射靶材核心技術由國外壟斷的局面,擴大國產濺射靶材的市場份額。綠化布
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